半導體 / 電子化（huà）工專用（yòng） -60℃~-90℃複疊式製冷機組（zǔ） 

 

半導體 + 電子化工細分工藝適配（pèi）（按工序分類）

（一）半導體晶圓前道製程（-65℃~-90℃高頻使用）

工藝節點	溫控需求	機（jī）組作用（yòng）	常規設定溫度（dù）
幹法等（děng）離（lí）子蝕刻	腔壁 / 靜電吸盤低溫控溫	降低聚（jù）合物副產物沉（chén）積，穩定蝕刻速率、尺寸 CD 均勻（yún）度（dù）、選擇比	-70℃~-85℃
離子注入冷阱	深低溫捕集水汽、烴（tīng）類（lèi）雜質	固化管（guǎn）路雜質，保障離子束純度，杜絕晶圓氧化汙染	-80℃~-90℃
ALD/CVD 薄膜沉積	反應腔體、特種（zhǒng）氣體管路控溫	抑製管（guǎn）壁反應物預沉積，提升薄膜結晶一致性、厚度均一	-60℃~-75℃
特（tè）種電子氣體液化（矽烷、硼烷）	低溫（wēn）液（yè）化（huà）儲存、調壓控溫	實現（xiàn）高純氣體低溫液化，便於精準輸送、安全（quán）存儲	-75℃~-88℃

（二）半導體封裝 和 可靠性測試

車規 / 航（háng）天芯片高低溫溫循測試：低溫段穩定 - 60℃~-85℃，配合加熱實現寬溫循環，篩選低（dī）溫漏電、封裝（zhuāng）開裂早期失效。

探針台晶圓低溫電測：晶圓恒溫 - 65℃~-80℃，排除溫度漂移導致的電學參數誤判，適配第三代半（bàn）導體（碳化矽（guī）、氮化镓）低溫特性檢測。

器件低（dī）溫（wēn）老化、冷篩選：批量驗證芯片**低溫啟停穩定性。

（三）電（diàn）子精細化（huà）工（光刻配（pèi）套、電子試劑、高（gāo）純化學品）

電子級有機溶劑低溫精餾提純：四氫呋喃、NMP、電子級丙酮低溫蒸餾，依靠 - 70℃~-85℃冷凝（níng）回收，減少溶劑揮發損耗，保障化學品超高純度。

光刻膠中間體低溫合（hé）成、重氮（dàn）化 / 酰化低溫反應：控（kòng）溫穩定抑製副反應，保障光刻膠純度與批次黏度一致性。

電子清洗劑低溫冷凝回收：VOC 廢氣深冷（lěng）冷凝，適配半（bàn）導體廠房廢（fèi）氣治理。

鋰電（diàn）電子漿料、導電銀漿（jiāng）低溫製備：低溫控溫防止漿料樹脂熱降解，保證附著力與導電（diàn）穩定性。

 

 標準化（huà）選型步驟（zhòu）（半（bàn）導體 / 電（diàn）子化工需做）

鎖定目標溫度（dù） + 預留餘量 工藝使（shǐ）用溫度 + 3~5℃= 機組低溫設計蒸發溫度。例：工藝穩定 - 80℃，機組按 - 85℃設計，保證負載波動不升溫差。

精準核算冷量 同（tóng）時計算顯熱（物料、設備發熱）+ 潛熱（冷凝、相變（biàn）），冷量額外（wài）預留 15%~20% 餘量；嚴禁隻（zhī）按名（míng）義匹數選型，低溫下實際製冷量隨溫度降低衰減明顯。

確（què）認載（zǎi）冷劑與兼（jiān）容性

-60~-70℃：矽油；

-70℃以下：必須用低溫矽油，乙二醇（chún）粘度劇增、流動性變差，泵耗暴漲。

車間環境確認 冷卻水水（shuǐ）溫、夏季*高環境溫度、是否無塵潔淨、是否需要防爆、管路長度壓降，決定冷凝器形式（shì）（水冷標配，風（fēng）冷適配無冷卻水廠房）。

自動化對接要求 是否需要接入工廠 MES、DCS，提前定義通訊（xùn）協議、溫度采樣頻率、連鎖（suǒ）停（tíng）機邏輯。

 

 日常運維要點（半導體產線長期穩（wěn）定）

雙（shuāng）冷媒分開管理：R23 屬於高壓低溫冷媒（méi），必須單獨存（cún）放，每年檢測冷（lěng）媒含水率（lǜ）、酸度，防止管路腐蝕。

載冷劑每 6 個月檢測含水率，含水率超標立刻更換，避免低溫（wēn）管路冰堵。

低（dī）溫壓縮機潤滑油必須使用專用低溫冷凍油，不可混用普通冷凍油，防止低溫流（liú）動性不足拉缸（gāng）。

無塵車間機組（zǔ）做正壓防塵櫃體，避免（miǎn）粉塵（chén）進入電控與換（huàn）熱器，造（zào）成換熱衰減、短路。

每月導出（chū）運行曲線，複盤溫度波動、高低壓壓力變化（huà），提前預判換熱器結垢、冷媒泄漏。

 

 常（cháng）見選型誤區規避

誤區（qū）：用雙級壓（yā）縮替代複（fù）疊機組 雙級壓縮**一般 - 60℃左右，低於 - 65℃效（xiào）率斷崖下跌，排氣溫度超標，長期運行故障率（lǜ）高；-60℃以下（xià）須複（fù）疊（dié）。

誤區（qū）：用普通冷水機（jī）乙二醇跑 - 80℃ 乙（yǐ）二醇在 - 75℃粘度極大（dà），循環流量不足、換熱失（shī）效，極易凍（dòng）爆管路（lù）。

誤區不做冷量餘量 晶圓刻蝕、化工反應（yīng）為間（jiān）歇波動負載（zǎi），無餘量（liàng）會出現高溫峰值，直接造成良率下降、批次報廢。

 

 

江蘇康士（shì）捷工業控溫設備 產品規（guī）格匯總

一、全係列溫度機型覆（fù）蓋

高溫型：5℃～35℃

中溫型：-5℃～-40℃

低（dī）溫型：-40℃～-80℃

極低溫型：-150℃～-80℃

冷熱兩用型：-150℃～+300℃

二、設備定（dìng）製及功（gōng）能配置

製冷（lěng）量規格齊全（quán），可適配不同工況負荷

可選特殊機（jī）型：防爆型、防（fáng）腐型、撬裝式、變頻型

支持非標定製，按需適配現場安裝及工藝（yì）要求

控溫（wēn）精度（dù）可選（xuǎn）：溫度穩定精度（dù） ±0.1℃等

 

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